메커니컬 터보분자 펌프

TURBOVAC i/iX 및 TURBOVAC iR
TURBOVAC i는 90~1450 l/s 범위의 성능을 자랑하는 검증된 터보분자 펌프 플랫폼입니다. TURBOVAC i는 최신 하이브리드 베어링 설계를 적용하여, 상부에는 영구 자석 베어링을, 하부에는 오일 프리 기계식 베어링을 조합함으로써 가장 깨끗한 고진공 환경을 제공합니다.
TURBOVAC i는 UHV(초고진공), IND(산업용) 처리량 모델은 물론, 원격 전자 장치를 탑재한 iR(방사선 내성) 모델까지 다양한 라인업을 제공합니다. TURBOVAC i 펌프는 최대 2개의 액세서리 제어, 기본 RS485, USB 및 디지털 I/O 제어가 가능한 컴팩트한 인터페이스를 갖추고 있습니다. 또한 TURBOVAC i 시리즈는 모든 종류의 필드버스 지원을 제공합니다. “Anybus”라고 불리는 범용 연결 방식을 통해 선택 가능한 모듈을 사용하여 Profibus, Ethernet IP, ProfiNET 및 EtherCAT을 통한 통신이 가능합니다.
TURBOVAC iX는 Anybus 인터페이스, 전단 진공 펌프 제어 기능, 최대 6개의 액세서리 제어 기능, 게이지 인터페이스를 제공하여 펌프를 완벽한 진공 제어 솔루션으로 만들어 줍니다. 단일 입구 펌프와 더불어, 당사의 고객 중심 엔지니어링 팀을 통해 다양한 다중 입구 펌프, 카트리지 펌프 및 맞춤형 제품을 제공합니다. 영업팀에 문의해 주시기 바랍니다. 일반적으로 TURBOVAC i 펌프는 본체만 제공되므로, 적합한 전원 공급 장치, 통신/전원 케이블 및 냉각 옵션은 별도로 주문해야 합니다. TURBOVAC 1350, 1450 및 850, 950 IND 모델은 항상 수냉식 블록이 기본 장착되어 제공됩니다.
TURBOVAC iR 터보분자 진공 펌프 제품군은 높은 수준의 이온화 방사선이 존재하는 까다로운 응용 분야의 요구 사항을 충족하면서 필요한 진공도를 제공하도록 개발되었습니다. 이러한 탁월한 방사선 내성 덕분에 TURBOVAC iR 펌프의 성능은 보장되며, 이는 응용 분야의 안정적인 운영으로 이어집니다. TURBOVAC iR을 통해 모든 종류의 원격 운영에 적합한 솔루션을 확보할 수 있습니다.

Turbomolecular Pumps Mechanical

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